Маркетинг инноваций (Тонкие пленки)

Данная работа является учебно-практической, с целью усвоения материала по организации инновационных производств. Работа подготовлена на примере методики контроля качества тонких пленок и многослойных структур для микроэлектроники.

Существующие методы аттестации поверхности тонких пленок и многослойных структур основаны на измерении шероховатости поверхности. В то же время шероховатость в значительной степени зависит от масштаба измерений, типа видеодатчика и др.

Кроме этого шероховатость изменяет свое значение только с изменением электросопротивления, т.е. когда необратимые быстропротекающие изменения структуры уже начались. Предлагаемая методика позволяет выявить некачественные микросхемы еще в процессе их изготовления, то есть задолго до того, как начинают изменяться их электрические характеристики.

Данная методика также является уникальным способом быстрой и квалифицированной диагностики плотности квантовых точек и их размерности в процессе их выращивания.

Эффект от данной разработки будет не только экономический, но и социальный, что тоже очень важно для экономики страны.